2次イオン質量分析装置SIMS/PS02B11 [ Other rooms ]
機器の詳細情報
機器情報 |
メーカー名: ION-TOF社/ION-TOF 性能: Time-of-Flight secondary ion mass spectrometry (TOF-SIMS) is a very sensitive surface analytical technique, well established for many industrial and research applications. It provides detailed elemental and molecular information about the surface, thin layers, interfaces of the sample, and gives a full three-dimensional analysis. The use is widespread, including semiconductors, polymers, paint, coatings, glass, paper, metals, ceramics, biomaterials, pharmaceuticals and organic tissue. [Specifications] ●Vacuum system: Base pressure reached after bakeout < 6.7 x 10-8 mbar ●EDR Analyser: Mass resolusion >10,000 (29amu) M/△M FWHM ●Bi Cluster Ion Gun ●measurement range: μm2 - cm2 設置場所: 101, I2CNER BuildingⅠ その他: |
---|---|
関連資料をダウンロードするためにはログインする必要があります。 | |
サポート情報 | 営業担当者等: |
関連資料をダウンロードするためにはログインする必要があります。 | |
機器の管理者 | atsushi_takagaki |
機器の掲示板(今月のお知らせ)
機器の掲示板(固定)
[Contact]
Prof. A. Takagaki Ext. 90-6711 (Ito Campus)
atakagak@cstf.kyushu-u.ac.jp
Prof. A. Takagaki Ext. 90-6711 (Ito Campus)
atakagak@cstf.kyushu-u.ac.jp
|
時間: | 08/09(日) | 08/10(月) | 08/11(火) | 08/12(水) | 08/13(木) | 08/14(金) | 08/15(土) |
---|---|---|---|---|---|---|---|
時間: | 08/09(日) | 08/10(月) | 08/11(火) | 08/12(水) | 08/13(木) | 08/14(金) | 08/15(土) |
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
エネルギー変換科学ユニット |
物質変換科学ユニット |
マルチスケール構造科学ユニット |
国際科学連携ハブ |
国際産学連携ハブ |
光エネルギー変換分子デバイス |
水素適合材料 |
電気化学エネルギー変換 |
熱科学 |
触媒的物質変換 |
CO2分離・転換 |
CO2貯留 |
エネルギーアナリシス研究部門 |
NEXT-RP |
支援部門 |