機器情報	メーカー名: ION-TOF社/ION-TOF 性能: Time-of-Flight secondary ion mass spectrometry (TOF-SIMS) is a very sensitive surface analytical technique, well established for many industrial and research applications. It provides detailed elemental and molecular information about the surface, thin layers, interfaces of the sample, and gives a full three-dimensional analysis. The use is widespread, including semiconductors, polymers, paint, coatings, glass, paper, metals, ceramics, biomaterials, pharmaceuticals and organic tissue. [Specifications] ●Vacuum system: Base pressure reached after bakeout < 6.7 x 10-8 mbar ●EDR Analyser: Mass resolusion >10,000 (29amu) M/△M FWHM ●Bi Cluster Ion Gun ●measurement range: μm2 - cm2 設置場所: 101, I2CNER BuildingⅠ その他:
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機器の管理者	atsushi_takagaki

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Prof. A. Takagaki Ext. 90-6711 (Ito Campus)
atakagak@cstf.kyushu-u.ac.jp