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2次イオン質量分析装置SIMS/PS02B11 [ Other rooms ]

機器の詳細情報

機器情報 メーカー名:
ION-TOF社/ION-TOF

性能:
Time-of-Flight secondary ion mass spectrometry (TOF-SIMS) is a very sensitive surface analytical technique, well established for many industrial and research applications. It provides detailed elemental and molecular information about the surface, thin layers, interfaces of the sample, and gives a full three-dimensional analysis. The use is widespread, including semiconductors, polymers, paint, coatings, glass, paper, metals, ceramics, biomaterials, pharmaceuticals and organic tissue.

[Specifications]
●Vacuum system: Base pressure reached after bakeout < 6.7 x 10-8 mbar
●EDR Analyser: Mass resolusion >10,000 (29amu) M/△M FWHM
●Bi Cluster Ion Gun
●measurement range: μm2 - cm2


設置場所:
101, I2CNER BuildingⅠ

その他:
[Contact]
Assoc. Prof. S. Ida Ext. 90-2869 (Ito Campus)
Administrative Office (Fujimoto,yatomaru)
i2cner_lab@i2cner.kyushu-u.ac.jp
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サポート情報 営業担当者等:
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機器の管理者 shintaro_ida

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