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ArクラスターイオンビームXPS/PHI5000VersaProbeⅡ [ 404 ]

機器の詳細情報

機器情報 メーカー名:
アルバックファイ/ULVACΦ

性能:
XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy) is for the elemental analysis of a specimen and can measure elemental compositions, chemical and electronic state quantitatively. In this equipment, Ar cluster ion beam system is attached to etch the sample surface mildly for intentionally exposure of deeper layers of the sample in depth-profiling XPS.

[Specifications]
●Minimum X-ray Beam Size: < 10μm
●Minimum Energy Resolution: < 0.50 eV (Ag3d 5/2)
●Maximum Sensitivity: > 1,000,000cps above background (Ag3d 5/2)
●Options: Ar Gas Cluster Ion Beam Gun (GCIB), C60 Ion Gun, Dual Anode X-ray Source, Ultra Violet Source (UPS), Sample Transfer Vessel, Hot/Cold Stage, Scanning Auger Microscopy, etc.


設置場所:
404, I2CNER BuildingⅠ

その他:
[Contact]
Prof. S. Fujikawa Ext. 90- 6872 (Ito Campus)
Administrative Office (Fujimoto,Yatomaru)
i2cner_lab@i2cner.kyushu-u.ac.jp

[Note]
新規ユーザーはX線講習会受講が必要です。
手続きに関しては、支援部門"wpisomu@jimu.kyushu-u.ac.jp"(担当:岩永)にお問い合わせ下さい。
Any NEW user of X-ray apparatus of I2CNER, needs to receive safety trainings.
For the detail, please contact to Administrative Office (Iwanaga) "wpisomu@jimu.kyushu-u.ac.jp".

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サポート情報 営業担当者等:
代理店:㈱新興精機 三輪卓史
tel:092-641-8451
E-mail:miwa@shinkouseiki.co.jp

営業担当:アルバックファイ㈱ 国内営業部 専門部長 辻野勇
tel:0467-85-4220
E-mail:isamu_tsujino@ulvac.com
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機器の管理者 tomoyasu_hirai,miho_yamauchi,shigenori_fujikawa


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